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경유하는 다이렉트 제판에까지 발전하고 있다. 복사기나 레이저 프린트용의 광도전성 드럼(Drum)은 그 일례이다. (1) 포토레지스트(photoresists)
(2) 디프 UV레지스트(Deep UV resist)
(3) 전자 레지스트
(4) X선 레지스트
(5) 광기록 재료
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칩과 같은 생물 센서 분야에 다양하게 실용화되고 있는 중요한 정밀화학 소재 연구분야이다 1. 감광성 고분자
(1) 디프 UV레지스트(Deep UV resist)
(2) 전자 레지스트
(3) X선 레지스트
(4) 광기록 재료
(5) 포토레지스트 감광재료
2. 전망
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레지스트와 포토레지스트 및 배향막 등 디스플레이용 화학재료 사업을 올해부터 크게 강화할 예정이다. ▪ Photolithography의 정의
▪ Photolithography의 세부 공정 및 재료
TFT 부분
COLOR FILTER 부분
▪ Photolithography의 현 사용현황
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포토리소그래피
포토레지스트
포토레지스트용 신나
현상액
린스액
레지스트박리제
기판표면개질제
감광성폴리머를 yd제에 녹인액
크실렌, 지방족계탄화수소
(네가티브용)지방족계탄화수소
(포지티브용)유기아민계혼합액, 규산소다, 인산소
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수지를 이용하여 사출성형을 하면 스템퍼에 형서오디어 있는 피트의 모양을 가진 폴리카보네이트 0.6mm 투명기판이 만들어진다. 이 투명기판에 레이저광이 반사되도록 알루미늄막을 입히고, 그 알루미늄막 위에 UV보호막을 입혀 다른 한쪽의 0
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