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전문지식 4건

참고문헌 ● 네이버 지식 - 재료과학과 공학 ● 한국 세라믹 학회지 1990년 27권 1호 ● 한국 세라믹 학화지 2003년 40권 1호 ● 물리학과 첨단세계 2005년 10월 ■ 박막 제조 공정 펌프종류 ● Sputtering의 종류 PVD CVD 유전체란 강유전체란
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  • 등록일 2008.12.01
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종류 ① DC sputtering : ② RF sputtering ③ reactive sputtering ④ magnatron sputtering ○ RF sputtering ① Self bais : ● Hybrid and modified PVD Processes ․ Ion Platind 법 ● PVD박막의 비교 ● ARC PLASMA DEPOSITION ● CVD의 종류 ■ 유전체의 범주
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  • 등록일 2010.01.26
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CVD 장치와 스파터 장치는 원리가 다르기 때문에 공통적인 대책은 찾기 어렵다. * PLD(Pulsed laser deposition)란? 펄스레이저 증착법 (Pulsed laser deposition (PLD) 또는 Laser ablation) 방법이 산화물 박막을 연구 하는 연구진 들에 의하여 널리 사용되고 있다
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  • 등록일 2008.10.29
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CVD 장치와 스파터 장치는 원리가 다르기 때문에 공통적인 대책은 찾기 어렵다. * PLD(Pulsed laser deposition)란? 펄스레이저 증착법 (Pulsed laser deposition (PLD) 또는 Laser ablation) 방법이 산화물 박막을 연구 하는 연구진 들에 의하여 널리 사용되고 있다
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