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part of the piezoresistive
pressure sensor.
Fig. 4 Cross section of the anisotropically etched
diaphragm.
Fig. 5 Top view photomicrograph of the packaged
pressure sensor. 1. 서론
2. 고온용 압력센서의 설계
3. 고온용 압력센서의 제조
4. 고온용 압력센서의 특성
5. 결론
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2. 품목별 전문 전시회
3. 전시회 주요 내용
Ⅱ. 이론적 배경
1. 자동인식시스템(머신비전)
2. Sensor
Ⅲ. 참가업체 탐방
1. (주) 뷰런 - 머신비전
2. (주) 앤비전 - 머신비전
3. 오토닉스 - Sensor
※ 참고문헌 및 웹사이트
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센서란
②반도체식 가스센서의 구조 및 원리
③반도체식 가스센서 구하는 식
④반도체식 가스센서 기술
⑤반도체식 가스센서 공정
⑥결론
3. 접촉연소식 가스센서
①접촉연소식 구조 및 원리, 식
②접촉연소식 가스센서 특성
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센서는 물질 고유의 물리적 특성을 이용한 것이다. 반도체나 세라믹스 등의 물리적 특성을 이용한 압력 센서·광 센서·자기장 센서·가스 센서·습도 센서 등이 있다. 물성형 센서는 집적회로(IC)나 박막(薄膜) 재료와 진보된 제조기술을 활용
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센서 개발,1차년도 / 과학기술처 / 과학기술처 / 1991년 / p 50~58 (액상법을 이용한 박막제조법)
⑥경북대학교 무기재료공학과 박막공학연구실 (겔화 과정)
(cera.knu.ac.kr/labs/cml/data/images/sol_gel.ppt ) 1.실험목적
2.실험 이론
1)졸-겔법의 분류
2)
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