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금속산화물 및 질화물의 합성 (질화알루미늄)
￭ IR 의 원리(동작 원리)
￭ 금속산화물의 특징
1.3.실험장치 및 시약
1.4. 실험방법
1.4.1. 전구물질의 합성
1.4.2. AlN 분말의 합성
1.4.3. AlN 분말의 확인
1.4.4. 반응메카니즘의 추정
2.
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금속탄화물이나 특정 금속질화물 중 어느 하나와 특정 금속 분말의 혼합물 혹은 특정 금속산화물과 특정 금속 분말의 혼합물을 입자 크기가 나노구조를 가지도록 볼밀링법으로 나노분말화한 후, 상기 나노구조 혼합물에 유도전류나 펄스 전
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질화물 강화 Al 합금의 제 조공정에 대한 연구”.1995년 8월,서울대학교 대학원
8) James R. Bowser.\'inorganic chemistry\'.자유아카데미.1997 1st ed.
9) www.google.co.kr : 질화 알루미늄 합성
e-book : 21세기를 뒷받침할 신소재, 신재료(겸지사) - 5.7. 질화 알루미늄
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분야라는것을 알수있었다.
마지막으로 실험과정에서 조금더 세심함을 기울일 필요가 있었던 아쉬움이 남는다.위에서 이야기 했듯이 스펙트럼 분석을 위해 이동할 때 생성물을 흘리는 부주의함도 있었고 건조기에서 생성물을 꺼내고 나서
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금속 실리콘 질화물 박막의 플라즈마 강화 사이클릭 증착 방법, 에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 2009
신혜라, 박막 트랜지스터의 제조방법 및 상기 방법에 이용되는 식각액 조성물, 동우 화인켐 주식회사, 2008
신수범, 포토리소그래피와 나노임
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