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성장시키려는 연구가 진행되고 있으며, 유용한 결정성장법으로의 그 위치를
차지하고 있다.
7. 참고 문헌
(1) Floating Zone 법에 의한 Rutile(TiO2) 단결정 육성/신재혁강승민오근호/한양대학교 무기재료공학과
(2) 부유대용융법에 의한 고품질 Rutile(
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성장학, 다성출판사 // 김정남 외 8인 공역
5. Introduction to Microelectronic Fabrication, PRENTICE HALL // R. Jaeger
6. EFG 법에 의한 Sapphire Ribbon 단결정 성장/박신서· 류두형· 정재우· 최종건(J.K. Choi) · 오근호(K.K. Orr) · 손선기(S.K. Sohn) · 변영재(Y.J. Byeon) ·
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1.단결정 성장 공정
단결정
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● 단결정 정의: 원자가 규칙적으로 배열하여 하나의 결정을 이룬 것
≪ 그 림 ≫ ≪ 그 림 ≫
단결정 다결정
● 사용이유
1. 전
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인상법
단결정(seed crystal)을 접촉시킨 후 서서히 위로 올리면 seed crystal의 결정
방향과 동일한 방향의 실리콘 단결정이 따라 올라오면서 결정 성장이 이루어지는 방법 .
1. 고주파 or 저항 가열체로부터 석영 or 흑연도가니 가열
2. 도가니
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단결정성장
2. 규소봉절단
3. 웨이퍼 표면연마
4. 회로설계
5. 마스크(Mask)제작
6. 산화(Oxidation)공정
7. 감광액 도포(Photo Resist Coating)
8. 노광(Exposure)공정
9. 현상(Development)공정
10. 식각(Etching)공정
11. 이온주입(Ion Implanta
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단결정 태양열 에너지
다) 다결정 실리콘 태양전지
라) 비 정질 실리콘 계 태양전지
마) 박막 형 태양전지
2) 화합물 반도체 태양전지
가) I-III-VI족(CIS)태양전지
나) II-VI족(CdTe) 태양전지
다) III-V족(GaAs, InP)태양전지
3) 유
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