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미세전자 공학 – STEPHEN A. CAMPBELL 원저
화학기상증착법(CVD)
13.1 실리콘의 증착을 위한 기본적인 CVD 시스템( A Simple CVD System for the deposition of Silicon)
13.2 화학적 평형과 질량 운동의 법칙(Chemical Equilibrium and the Law of Mass Action)
13.3 가스 흐름
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D-LINE의 짧은 파장 쪽을 측정하는 각도와 2차 스펙트럼에서 Na D-LINE의 긴 파장 쪽을 측정하는 각도의 차가 0.1°의 차이보다 미세하다는 것은 눈으로 확인이 가능하였지만 분광계의 각도계는 0.1°이하의 미세한 각은 측정할 수 없었다. 없음
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전자현미경을 이용한 미세구조 관찰
1.실험목적
2.실험 준비물
3.이론적 배경
3.1 구조-물성-프로세싱의 관계
3.2 주사전자 현미경(Scanning Electron Microscope: SEM)
3.3 주사전자 현미경의 작동원리
4.실험방법
4.1시험편의 준비
4.2 SEM분석
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미세 튜브
현재로는 탄소 나노튜브, 그 다발(로프), 혹은 튜브들의 뭉치들이 구체적으로 어떻게 이용될 것인지 미지수이다. 미국의 New York Times지는 최근호에서 실리콘 이후 새로운 소재로서 탄소 나노튜브의 가능성을 크게 다루고 여러 저명
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*MEMS (Micro Electronic Mechanical System : 미세전자기계시스템) : 전자(반도체)기술, 기계 기술, 그리고 광기술 등을 융합하여 마이크로 단위의 작은 부품 및 시스템을 설계, 제작하고 응용하는 기술.
*RF-ID (Radio Frequency Identification) : 기존 바코드 기능
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