열분해에 의해 생성되는 물질의 종류
기체 : H2, CH4, CO, CO2, NH3, H2S, HCN
액체 : 식초산, 아세톤, 메탄올, 오일, 타르, 방향성물질
고체 : Char(순수한 탄소), 불활성물질
열분해 방법
저온법 (열분해)
Tar, Char 및 액체상태의
연료가 보다 많이 생
법
1) 진공증착(evaporation)
2) 스퍼터링(Sputtering)
3) 이온플레이팅(ion plating)
(2) 일반적인 스퍼터링, magnetron 스퍼터링 및 UBM(unbalanced magnetron) 스퍼터링에 대해서 설명 및 비교하여라.
(3) 박막의 특성평가 방법들의 종류와 그
법
ELA 방법에 의한 다결정 실리콘‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥‥6
(1) 결정화 순서
(2) 공 정
(2-1) 전반적 공정
(2-2) ELA 공정
(2-3) SLS 공정
(2-4) ELA & SLS 공정 비교
(2-5) CGS 공정
(2-6) MIC & MILC
(3) 저온