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저진공 펌프의 경제적 파급효과
자) 한국표준과학연구원
이 사례는 KRISS 진공기술센터의 저진공 펌프 성능 특성평가 기술개발 프로그램을 통한 기술하부구조에서 이루어진 투자가 한국 산업에 미친 경제적 파급효과의 분석하기 위한 것이다
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프는 오일의 산화 등을 방지하고, 배기 효율을 높이기 위하여 로터리 펌프를 이용하여 보조 배기를 해주면서 사용하게 되는데, 이때 로터리 펌프의 용량은 오일확산펌프의 흡입구의 압력과 배출구의 압력, 그리고 오일 확산 펌프의 용량에 의
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저진공 펌프
• 로타리 베인 펌프
• 로타리 피스톤 펌프
■ 중진공 펌프
• 루츠 펌프
■ 고진공 펌프
• 터보 분자 펌프
■ 초고진공 펌프
• 티타늄 승화 펌프 (titanium sublomation pump)
• 이온펌프 (ionization pump)
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저진공 과정
1 mian 스위치 켠다. 단수 경보기 켠다.
2 Rotary 스위치와 주스위치 켜고 roughing 밸브를 연다.
3 약 20~30분후 Geissler Gauge 가 보라색에서 무색으로 변함을 확인하고 Foreline 밸브를 연다.
◈고진공 과정
1 Diffusion 스위치 켠다. 히터를 5~10
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저진공을 뽑기 위해 사용, 고진공에 연결한다.)
4) Diffusion Pump를 on 한다.
5) Foreline Valve를 open 시킨다(30분~1시간 oil boiling)
6) Leak S/W on, 챔버를 open 시킨다.
7) 텅스텐 와이어를 설치한 후 알루미늄 소스를 와이어에 걸어두고 기판 홀더에 샘플을 놓
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