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진공 과정
1 mian 스위치 켠다. 단수 경보기 켠다.
2 Rotary 스위치와 주스위치 켜고 roughing 밸브를 연다.
3 약 20~30분후 Geissler Gauge 가 보라색에서 무색으로 변함을 확인하고 Foreline 밸브를 연다.
◈고진공 과정
1 Diffusion 스위치 켠다. 히터를 5~10분
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없으며, 측정하고자 하는 곳에 미리 단차를 만들어 놓아야 하는 불편함이 있다. 증착
증착의 개념
증착의 요구조건
진공증착법
증착의 방식
PECVD
CVD
PECVD
PECVD의 공정 과정
알파스텝
알파스텝 장비
알파스텝의 원리
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진공을 만든 후, Diffusion Pump를 통해 고진공 상태로 만든 다음 가스를 흘려준 후 전압을 걸어 플라즈마 상태로 만들고, 아르곤 가스를 이용해 실리콘 기판 위에 구리를 증착해보는 실험을 하였으며, roughness 등 증착이 얼마나 잘 이루어졌는지는
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고진공을 요하는 관계로 생산 공정상의 가격이 비싸다는 문제점을 가지고 있다. 스퍼터링법으로 제작하는 경우 전자빔 증착법에 비해 MgO 보호막이 치밀하며, 결정배향에 유리한 특성을 지닌다. 하지만 제작공정 가격이 비싼 문제점을 가지고
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진공 과정
냉각수를 틀고 메인 스위치를 켜고 단수 경보기를 켠다. 로터리 스위치와 플러그를 켜고
Foreline 밸브를 위로 올린다. 약 15 ~ 20분 후 가이슬러 게이지가 보라색에서 무색으로 변한 것을 확인하고 Foreline 밸브를 잠근다.
4. 고진공 과
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