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을 이동시키면서 표면의 특성을 측정한다. 1980년에 발명된 주사터널링현미경(STM)은 주사탐침현미경을 설명하기에 아주 좋은 사례이다. 이 현미경은 1억배의 배율로 고체표면상의 원자를 관찰할 수 있다. 고체표면에 존재하는 원자주변의 전
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주사탐침현미경
광학현미경이나 전자현미경이 고도로 발전했음에도 더욱 새롭고 강력한 현미경이 계속 발명되고 있다. 주사탐침현미경(scanningprobe microscope, SPM)이라고 불리는 새로운 종류의 현미경은 피검체의 표면에 뾰족한탐침(probe)을 이
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주사탐침현미경(Scanning Probe Microscope)의 일종인 원자현미경(Atomic Force Microscope)과 주사투과현미경(Scanning Tunneling Microscope)을 이용한 nanolithography를 수행함으로써 분자 수준에서 미세구조물을 제작하는 nanofabrication이다. 물질의 표면 특성을 분자
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주사탐침현미경(STM)의 tip으로도 사용이 가능하다. 그외에도 초미세시스템의 연결선, 초미세 파이프, 액체 주입장치등에 적용이 가능하다.
6) 반도체 소자
현재 반도체 소자로는 실리콘이 널리 사용되고 있는데, 실리콘이 반도체 소자로 사용
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현미경과 SPM, en 현미경 모두 같은 기능으로 전자 빔을 사용하여 구멍을 내거나 선을 그리거나 하는 것이 가능하며 관찰 기능뿐만 아니라 가공 장치로도 사용되고 있다.
8. SPM 응용 분야
1) 학술 및 산업분야 : 현재 주사탐침현미경은 주로 학술
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