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현미경(Electrosatic Force Microscopy)
정전기력을 사용하여 시료의 전기적 특성을 측정하는 장치
㉣주사 정전용량 현미경(Scanning Capacitance Microscopy)
축전기의 전극으로서 사용되는 침 사용
㉤분자인식 AFM(Molecular Recognition AFM)
특정한 리간드가 붙은 침
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현미경(SEM, Scanning Electron Microscopy) : PILETA, 보유장비,
http://www.pileta.co.kr/%EB%B3%B4%EC%9C%A0%EC%9E%A5%EB%B9%84/2191406
[3] Fig.6 Sputter 장비 : HITACHI, Ion Sputter MC1000
https://www.hitachi-hightech.com/kr/product_detail/?pn=em-mc1000&version=ko
[4] Fig.7 원자력현미경(AFM, Atomic Force
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현미경의 사용이 필수적이라는 인식이 확산되고 있다.
광학현미경
FIELD SEM
Conforcal
SPM(AFM)
측 정 환 경
대기중
진공
대기중
대기중, 용액내, 진공
시 료
액체
고체
액체, 고체
액체, 고체
x, y 축 분해능
z 축 분해능
1.0㎛, 1.0㎛
0
5nm, 5nm
0
170nm
500nm
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현미경, 원자력반발현미경(AFM), 근접장투과현미경(SNOM) 등이 개발되면서 나노구조나 단일 분자의 특성을 측정하고 조절할 수 있게 된 것이 현재의 나노기술 발전에 커다란 영향을 미침 기술의 배경 및 발전과정
기술의 기본원리 또는
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AFM ( Atomic Force Microscope)
요약
일반적으로 원자력 현미경(AFM)은 수백 마이크로미터 이하의 범위를 측정할 때 사용해 왔다. 그러나 더 큰 범위의 측정을 위해 200mm X 200mm의 AFM을 설계, 제작하였다. 전체 스테이지 시스템은 표면판, 글로벌 스테이
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