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분석
반도체 Process 및 분석
Cell 내 Overlay Confirm 용 목 차
1. 서론
2. STM (Scanning Tunneling Microscope)
3. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometer)
4. AEM (Auger Electron Microscope)
5. AFM (Atomic Force Microscope)
6. NSOM (Near-field Scanning Optical Microscope)
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전자, 후각 산란전자, X-ray 에 의한 image
4. 결론
1) TEM과 SEM의 비교
전자현미경에는 크게 나누어 투과전자현미경( Transmission Electron Microscope)과 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)으로 구분할 수 있다. 이의 구조상 차이는 광학현미경의 투과
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전자 현미경을 통해 관찰함으로써 특정 소재의 구조에 따른 특성을 이해하는데 큰 도움이 되었으며, 이번 실험을 바탕으로 재료를 공부함에 있어서 특정 재료의 미세구조를 파악하는 것의 중요함을 알 수 있었다.
참고문헌
- 그림1 http://blog.n
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주사전자현미경
S E M
SEM 이론
SESSION 01
SESSION 01
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주사전자현미경 (Scanning Electron Microscope)란
≪ 그 림 ≫
집속된 전자빔을 시료표면에
주사하면서 전자빔과 시료와의
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된 전자 파를 이용하여 훨씬 짧은 전자파를 사용하기 때문에 전자현미경을 사용하여 얻은 해상력은 광학적인 것의 100정도인 0.004㎛에 이르게 된다.
1. 투과전자현미경(transmission eletron microscope)
전자파가 표본을 투과하여 나온 전 beam을 몇 개의
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