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분석
반도체 Process 및 분석
Cell 내 Overlay Confirm 용 목 차
1. 서론
2. STM (Scanning Tunneling Microscope)
3. SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometer)
4. AEM (Auger Electron Microscope)
5. AFM (Atomic Force Microscope)
6. NSOM (Near-field Scanning Optical Microscope)
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/2002
참고 사이트 -http://www.tecsco.net/spm/spm.asp 1. SPM의 역사
2. SPM의 필요배경
3. SPM (Scanning Probe MicroScope)의 의미와 원리
4. STM (Scanning Tunneling MicroScope)
5. AFM(Atomic Force MicroScope)
6. SPM의 종류
7. 타 현미경과 SPM 기술의 비교
8. SPM 응용 분야
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1.전자현미경과 종류
2.x선의 원리및 종류
3.x선으로 결정구조 측정
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STM(scanning tunneling microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)이 있다.
[그림6] AFM의 구조도
AFM과 STM을 비교해보면 AFM 즉, 원자간력현미경은 주사 터널링 현미경(STM)에서는 전기 도체표면의 원자 상에서 밖에 측정할 수 없었기 때문에 이를 보안하기 위해
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STM(scanning tunneling microscope)과 AFM(Atomic Force Microscope)이 있다.
[그림6] AFM의 구조도
AFM과 STM을 비교해보면 AFM 즉, 원자간력현미경은 주사 터널링 현미경(STM)에서는 전기 도체표면의 원자 상에서 밖에 측정할 수 없었기 때문에 이를 보안하기 위해
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