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진공이란
2. 진공의 단위 및 분류
3. 증착 장비
4. Magnetron Sputtering
5. 플라즈마 기초 및 응용분야
6. 플라즈마란?
7. 상태 안정
8. 플라즈마
9. 플라즈마 적용
10. 플라즈마응용 표면차리기술
11. 진공증착
12. 물리적 증착- Sputtering
13. Sputtering
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1.0133×105×1.450×10-4=14.69285psi
○ 참고문헌
1. 진공공학 p.153~219 < 저자 배석희외 2명 - 출판사 : 한국경제신문>
2. 진공의 기본지식의 이해 - http://blog.naver.com/r741234/120021884038
3. 진공펌프의 기초이론 - http://hanvacuum.co.kr/vacuum%20data/v-the2.htm
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진공 : 공기 분자의 수가 없거나 적은 상태
진공의 단위 : 진공의 정도는 압력으로 나타냄.
MKS 단위로는 Pa가 쓰이나, 통상 Torr를 많이 사용. I. 박막 및 진공기술.
II. 진공에 대한 물리적 사항.
III. 진공 펌프.&nb
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진공도의 단위
3. 절대 진공도와 게이지 상의 진공도
4. 진공펌프의 용량 단위
5. 진공도에 따른 진공 영역의 구분
6. 진공펌프의 종류
7. 진공 펌프의 원리
1) 로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어
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진공용기내의 압력이 낮을수록 기체 입자사이의 공간은 늘어나고 입자들간의 충돌횟수는 준다.
기체분자가 반지름 r인 구(球)일 때 단위부피 속에 n개의 분자를 포함하는 기체의 평균자유행로 l은 l=(1/√2)4πnr2이다. 기체의 점성계수 열전도
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