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진공도가 low 10-5 torr 이하가 되면 텅스텐 boat에 전류를 인가하여 알루미늄
을 증착한다.
(7) Chamber 내부에 잔류한 알루미늄을 제거하기위해 10분정도 Pumping 후
Chamber 내부를 상압으로 만든다.
(8) 광학현미경, 4-point probe, Stylus을 이용하여 증착된
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2-1.박막제작방법
2-2. 물리적 증착법 (PVD, Physical Vapor Deposition)
2-3.진공 증착법(Vacuum Evaporation)
2-4. 피복층 조직
2-5. 진공 증착법의 특징
2-6. 적용 범위 및 응용
3.실험장치 및 시약
4. 실험방법
4. 분석
5. 결과 및 토의
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Evaporation으로 증착되는 발광재료에 대해 조사한다.
열 증착법은 저항가열식 기상증착법으로 불리며 이 방법은 고융점의 filamant, basket 또는 boat등의 열적 source가 필요하며, 특히 잘 쓰이고 있는 열적 source재료로는 , , 등으로 이 금속들의 박 또
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진공 문제, design, 모재의 적합한 표면상태, 코팅 조업의 software 등이 중요합니다.
. CVD(Chemical Vapor Deposition)
화학기상증착(CVD) 은 여러가지 물질의 박막제조에 있어서 현재 가장 널리 쓰이고 있는 방법입니다. CVD의 응용범위는 반도체와 같은 mic
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3) 종류와 범위
4) 진공 펌프의 선택
5) 진공 펌프의 분류
① 작동 압력 여부에 따른 분류
② 작동원리에 따른 분류
6) 저진공 펌프
로타리 베인 펌프 (Rotary vane pump)
7) 고진공 펌프
오일확산 펌프(Oil diffusion pump)
2. 열 증착법
열 증착법
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