|
증착법
도선에 흐르는 전기의 순수 저항을 이용하여 가열하는 방법으로 텅스텐, 티타늄 등을 이용하거나 접점저항을 이용하여 가열함.
①증발 과정시 증발체는 보통 높은 진공 상태에서 열 이 가해짐(P<10Torr)
②압력이 낮기 때문에 대부분
|
|
|
진공용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태
응용
Food process, Freeze drying, Distillation,
박막 증착(Sputtering, LPCVD : Low pressure
Chemical Vapor Deposition)
플라즈마 공정, 네온사인 등에 응용 1. 진공의 개념
2. 진공 증착법 이란
|
|
|
진공도가 low 10-5 torr 이하가 되면 텅스텐 boat에 전류를 인가하여 알루미늄
을 증착한다.
(7) Chamber 내부에 잔류한 알루미늄을 제거하기위해 10분정도 Pumping 후
Chamber 내부를 상압으로 만든다.
(8) 광학현미경, 4-point probe, Stylus을 이용하여 증착된
|
|
|
진공의 응용
전구나 각종 진공관을 비롯하여, 진공 속에서 물질을 증발시켜 그 속에 놓아 둔 물체 표면 에 균일한 막을 입히는 진공증착법(眞空蒸着法)이 개발되어 렌즈의 반사방지막이나 반사경 제조 등 광학공업에 획기적인 기술상의 진보
|
|
|
진공의 응용
전구나 각종 진공관을 비롯하여, 진공 속에서 물질을 증발시켜 그 속에 놓아 둔 물체 표면 에 균일한 막을 입히는 진공증착법(眞空蒸着法)이 개발되어 렌즈의 반사방지막이나 반사경 제조 등 광학공업에 획기적인 기술상의 진보
|
|
메뉴펼치기
