박막제조방법 진공증착법

소개글

박막제조방법 진공증착법에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 진공의 개념

2. 진공 증착법 이란?

3. 진공 증착법의 원리

4. 진공 증착법의 특징

5. 적용 범위 및 응용

본문내용

진공이란?
대기압보다 낮은 기체압력의 특정 공간상태
박막 제작에 필요한 진공은 10-2 Pa대 또는
그 이하의 압력
진공의 필요성
1. 깨끗한 환경 제공
2. 적절한 환경 제공
저진공 (Low vacuum)
1기압 ~ 10-3 Torr, Rough Vacuum
기체 상태의 분자 수량이 진공용기 내부 표면에 부착되어 있는 분자 수량보다 많은 상태
응용
Food process, Freeze drying, Distillation,
박막 증착(Sputtering, LPCVD : Low pressure
Chemical Vapor Deposition)
플라즈마 공정, 네온사인 등에 응용

키워드

박막제조방법,   진공증착법,   박막제조법