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박막센서 개발,1차년도 / 과학기술처 / 과학기술처 / 1991년 / p 50~58 (액상법을 이용한 박막제조법)
⑥경북대학교 무기재료공학과 박막공학연구실 (겔화 과정)
(cera.knu.ac.kr/labs/cml/data/images/sol_gel.ppt ) 1.실험목적
2.실험 이론
1)졸-겔법의 분
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진공이란?
대기압보다 낮은 기체압력의 특정 공간상태
박막 제작에 필요한 진공은 10-2 Pa대 또는
그 이하의 압력
진공의 필요성
1. 깨끗한 환경 제공
2. 적절한 환경 제공
저진공 (Low vacuum)
1기압 ~ 10-3 Torr, Rough Vacuum
기체 상태의 분자 수
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박막형성의 형태등)
- 단점 1) 접착이 약함
2) Low quality thin film
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박막 및 그 제조방법
- MOD법에 의한 ITO 투명전도성 박막의 제조
- 화학기상증착법에 의한 ＩＴＯ박막 제조방법
- 원자층 증착법에 의한 ITO 박막 제조방법 및 인듐 박막 제조방법
- 표면 개질된 인듐 주석 산화물층 및 유기 전계 발광
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박막 제조법으로 제작한다. 현재 AC-PDP용 MgO 보호막은 전자빔에 의한 진공증착법, 스퍼터링에 의한 방법 ion plating법 액상으로 제작하는 방법 등이 사용되고있다. 전자빔 증착법은 전기장과 자기장으로 가속되어지는 전자빔을 MgO 시료에 충돌
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