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CVD
1) 압력에 따른 분류
2) Reactor 온도에 따른 분류
3) Reactor Shape에 따른 분류
4. PECVD
1) PECVD 원리
2) PECVD 증착 기구
3) PECVD의 장점 및 단점
5. ECR PECVD
1) ECR 플라즈마의 원리
2) ECR PECVD 증착 기구
3) ECR PECVD의 장점 및 단점
6. Ph
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※ PLASMA의 원리
- 플라즈마란 소위 ‘제 4의 물질상태’
- 전기적인 방전으로 인해 생기는 전하를 띤 양이온과 전자들의 집단
- 기체 상태에서 더 큰 에너지를 받게되면 상전이와는 다른 이온화된 입자들. 즉, 양과 음의 총 전하 수가 거의
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