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of plasma processes to VLSI technology, Wiley, New York, 1985
[2] Trikon Technology, http://www.pmat.com/
[3] Berkeley University EECS dept. , http://www.berkeley.edu/
[4] Lam Research Corporation, http://www.lamrc.com/
[5] ASTeX , http://www.aven.org/Astex.html
[6] PlasmaQuest, http://www.plasmaque
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공정에 쓰이는 장비의 사용목적과 쓰임을 안다
각 공정단계를 간편화 정밀화 함으로써 더욱 더 좋은 Quality 를 갖는 반도체 소자를 만들 수 있도록 연구 1. Objective
2. LED?
3. Theory Explanation
4. Fabrication process of LED
5. Equipment
6. Summar
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