HP4145

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bulk current in the insulator (3) Poole-Frenkel conduction (4) Hopping conduction (5) Space charge-limited conduction V. I-V measurement with HP4145B 1. 측정목적 2. I-V 측정 장비의 구성 2.1 Probe station의 사용법 2.2 측정 장비(HP 4145B ) 2.3 Interface computer V. Reference

I-V measurement Schottky contact, MIS contact 1.4 Ohmic contact, I-V measurement,

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[A+] 삼성전자 생산/제조(생산관리/공정관리/품질관리) 일반

. HP4145로 IV 추출, w/f-Ids 그래프에서 edge의 spec over을 발견했습니다. Ids와 tox가 반비례하므로 edge에서 tox가 작음을 유추했습니다. 온도, 도핑농도가 확산계수와 비례하므로 gate oxide공정에서 edge온도와 도핑농도가 center보다 낮은 것이 원인임을

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