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Scanning Probe Microscope 이란?
1-1. SPM의 스캐너
1-2. 스캐너 구조와 작동
1-3. 스캐너의 본질적인 문제점들.
1-3-1. Intrinsic 비선형성
1-3-2. Hysteresis
1-3-3. Creep
1-3-4. Aging
1-3-5. Cross Coupling
1-4. 스캐너 문제점들의 해결방법
1-4-1. Software
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야 한다는 점이다.
Ⅴ 다른 기기와의 비교분석
탐침형 원자 현미경(scanning probe microscope ;SPM)이란 다양한 방식의 탐침(probe)으로 시료의 표면을 스캔하여 원자 지름의 수십 분의 1인 0.01나노미터(nm) 수준까지 측정할 수 있는 제3세대 현미경이다.
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야 한다는 점이다.
Ⅴ 다른 기기와의 비교분석
탐침형 원자 현미경(scanning probe microscope ;SPM)이란 다양한 방식의 탐침(probe)으로 시료의 표면을 스캔하여 원자 지름의 수십 분의 1인 0.01나노미터(nm) 수준까지 측정할 수 있는 제3세대 현미경이다.
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전자를 발생시켜서, 센서로 받아들여 관찰할 수 있도록 한다.
SPM(Scanning Probe Microscope)은 1982년에 IBM. Zurich 연구소의 G.Binning, H.Roher에 의해 발명 (1986년의 노벨물리학상수상) 됐던 STM(Scanning Tunneling Microscope)의 원리로부터 탄생되었다. 미세한 탐
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Electron microscope(EM)
• SEM (scanning electron microscope)
• FESEM (field emission scanning electron microscope)
• TEM (transmission electron microscope)
• HRTEM (high resolution transmission electron microscope)
Scanning probe microscope(SPM)
• STM(scanning tun
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