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재료합성공정.
2. 응용 분야:
- thin film, coating 제조
- solid state electronic devices 제조
- ball bearing, cutting tool coating
- engine 내부 coating
- MOS 제조 1.서론
2.반응유형, Precursors
3.관련 기초분야: 열역학, Kinetics, Dynamics
4.Modified CVD
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modified)
R (C) = - M sub t mu sub max {C} over {K sub c + C } {O} over {K sub o + O }
iii) 1차수 분해(first order degradation)
기질에 대한 특성치들은 매우 얻기가 어려울 뿐만 아니라, 얻어진 값이라 할 지라도 공간적 시간적 특이성을 가지고 있기 때문에 정확한 현
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interactions 357
19 Materials 1: macromolecules and aggregates 370
20 Materials 2: the solid state 389
PART 3 Change 411
21 Molecules in motion 413
22 The rates of chemical reactions 440
23 The kinetics of complex reactions 464
24 Molecular reaction dynamics 489
25 Processes at solid sur
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