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광자결정 광섬유기반 광신호 분배기 개발, 한국광학회, 2010
조병일, 광리소그래피에서의 광근접효과 보정연구, 원광대학교, 2000 Ⅰ. 광양자설(광자설)
Ⅱ. 광검출기
1. 이동식카메라
2. 여러 가지 파장영역을 디텍트할 수 있는 반도체 소
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광화학
화학적 증기 증착법(CVD)
펄스증폭
물질가공
마이크로회로 수리
마이크로 기계
정밀 천공
반도체 도핑, 열처리
박막증착
리소그래피(Lithography)
패턴발생기, 웨이퍼 스태퍼, 마스크 설정
마킹
세라믹, 유리, 플라스틱, 금속
의학
주
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광학 현미경 제작 및 소멸파 측정, 한양대학교
○ 임천석 외 1명(2006), 현대광공학 개론 Ⅰ : 기하광학, 한국광학회
○ 임조령 외 3명(2010), 광학센서 시선벡터에 대한 궤도 변화 영향 해석, 한국우주과학회
○ 우정원(2005), 광자결정의 비선형 광
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광결정 레이저 구현의 핵심기술은 작은 전류가 통하는 길이다. 이 길은 광결정의 특징을 훼손시키지 않고 단지 전류만 흐를 수 있도록 구조의 대칭점에 매우 작게 제작돼 있다. 전기로 구동되는 광결정 레이저는 하나의 광자만을 만들 수 있
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광결정 레이저 구현의 핵심기술은 작은 전류가 통하는 길이다. 이 길은 광결정의 특징을 훼손시키지 않고 단지 전류만 흐를 수 있도록 구조의 대칭점에 매우 작게 제작돼 있다. 전기로 구동되는 광결정 레이저는 하나의 광자만을 만들 수 있
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개별적으로 취급할 수 없다.
◎ 참고문헌 : 반도체 제조장치 입문, 전전 화부, 성안당
집적회로 설계를 위한 반도체 소자 및 공정, 정항근, 홍릉과학
실리콘 공정기술 입문, 김종성, 동영 출판사
박막공학의 기초, 최시영, 일진사 없음
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리소그래피(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그래피 기술의 개요
3) 리소그래피 장치의 분류
4) 리소그래피 방법
① Photoresist coat (PR 코팅)
② Soft Bake(소프트 베이크)
③ Photo exposure(노광)
④ Develop(현상)
⑤ Hard bake(하드 베이크)
5) 향후의
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광촉매를 이용한
물로부터 수소를 제조할 수 있는 기술로서, 장기적 안목에서 추진하고 있다.
Ⅲ. 결 론
21세기의 가장 중요한 키워드 중 하나는 환경이다. 새로운 세기에도 인류가 지난 세기처럼 지구 환경을 마구 파괴하고, 성장에만 주려한
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광대학교 출판부.
조동일. (1997). 「우리 학문의 길」. 서울: 지식산업사.
조기빈(趙紀彬). (1996). 「反논어」. 서울: 예문서원.
진대제. (1996). 「공자의 학설」. 안종수 옮김. 서울: 이론과 실천.
진순(陳淳). (1995). 「북계자의(北溪字義)」. 서울:
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1. 리소그래피(Lithography)의 정의
노광 기술(Lithography 기술)은 마스크(mask)상에 설계된 패턴을 웨이퍼 상에 구현하는 일종의 사진기술로서 마스크 형상을 웨이퍼에 전달하는 매체로 빔, 전자, 이온 등을 사용한다.
기판인 웨이퍼 위에 원하는
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