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면서 현상이 제대로 되지 않았을 수도 있다는 우려도 생겼습니다.
수작업으로 현상액을 만들다보니 현상액의 농도 조절이 쉽지 않아 적절한 농도를 맞추는 게 쉽지 않아보입니다.
소감
PR코팅을 벗겨내는 현상과정이 끝난 이후, 실제로 동판
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PR코팅층이 손실되는 것을 막는다.
7단계 : \'hard baking\'을 한 실리콘 웨이퍼를 \'BOE용액\'으로 4분30초동안 \'etching\'시켜준다.
①\'hard baking\'을 한 실리콘 웨이퍼를 \'BOE용액\'에 4분30초동안 담가둔다.
\'BOE용액\'은 불산과 NH4을 1:6의 비율로 섞은
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PR을 사용하여 코팅하는 공정이 필름을 사용하여 Lamination하는 공정으로 바뀐것이 다르다. 이 기술은 안료분산법의 PR코팅 공정이 느리고 이 공정에서 불량이 많이 발생하는데에 착안을 하여 개발한 기술로서, 생산성이 높은 것이 장점이나 Lami
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포토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판
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포토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판
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코팅, PR에 사용되는 UV 수지에 대한 지식을 쌓았습니다. 또한 국내 폴리머 제조 회사의 기술팀에 근무하며 PET, PETG, PPS, PLA 등의 고분자 수지 기술 지식을 쌓았습니다. 따라서 애경화학의 고객이 가진 기술적 문제를 초기에 파악하여, 고객의 사
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