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나노기술의 개념
1. 나노기술의 특징
2. 나노물질의 특성
제2절 나노기술의 필요성 및 응용분야
1. 나노기술의 필요성
2. 나노기술의 응용분야
제3절 나노기술 개발 현황
1. 국내 현황
2. 국외 현황
결 론
제4절 향후 과제
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나노튜브의 우수한 물성과 다양한 가능성으로 인해 탄소나노튜브는 차세대 전자정보산업분야에서 폭넓게 이용될 것으로 기대된다. 제 1 장 서 론
Ⅰ-1 탄소나노튜브의 조사배경
Ⅰ-2 탄소나노튜브의 발견
Ⅰ-3 탄
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장비현황 및 확충계획
- 차량공급조직 구성계획
·차량공급조직
·차량공급공정
- 차량시스템 및 기술자료
·차량시스템, 차량기능 및 성능요소
·차량자료의 적합성 및 타당성
- 사업관리계획
·조직 및 인력
·자금운용계획
- 차량 및 시설물
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공정장비는 국산화가 미흡한 실정으로 연간 40억원을 투입하여 CVD, Track장비 등 전공정장비의 개발을 우선적으로 지원하며, 향후 300mm웨이퍼 시대 및 D램의 고집적화,고속화에 대비 시스템집적반도체 기술개발사업을 통해 국산화가 미진한 장
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나노공정장비기술분야
* 고유전율의 세륨산화물을 실리콘위에 성장시켜 0.38nm 실리콘 산화물 gate 절연막 제작에 성공(도시바)
* 현재보다 출력을 5배 높여 가공효율이 크게 향상된 "클러스터 이온빔 발생 장치" 개발(일본 시마즈 제작소)
* 가시
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