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또한 더 좋다고 생각한다 하지만 지금 최대의 문제점은 항상 같은 밀도로, 항상 같은 위치에 똑같이 성장시키기 어렵다는 점으로 인하여 상용화에 어렵다는 것이다.
현재는 LB법을 가장 많이 사용하고 상용화 방법에 있어서 가장 가까운 방법
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단결정 성장에 주로 이루어지고 있으나 고전적인 방법이외에도 태양광이나 electric arc, RF plasma, plasma 버너 등을 열원으로 이용하는 process가 개발되었다. 이러한 방법으로 Verneuil process의 응용이 확대되었다. 본 보고서에서는 Verneuil process의 특
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단결정 기판은 낮은 유전률을 갖기 때문에 SAW (Surface Acoustic Waveguide) 필터로도 이용할 수있는데 특히 고주파대역에서 좋은 특성을 보인다.
기존AlN SAW 필터제품은 다결정 박막형태로 만들어져 이용되고 있으나 단결정기판이 상용화 되면 고효
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형태인 봉인된 원통형 유리용기(ampoule)에 넣고 용융점 이상으로 가열한 후, 로 안으로부터 하강시키면 끝 부분이 원뿔형태의 뾰족한 부분이 먼저 핵생성이 되어 그것이 결정전체로 성장하여 단결정으로 성장된다.
사진4. 수평식 브리지만
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형태의 결정이 각각의 방향을 향하여 있는데 이를 등축정이라고 한다
이 두가지를 합쳐서 수지상정이라 한다.
Czochralski 법(CZ법)
대표적인 단결정 성장법으로 30여년 전에 CZ에 의해서 발명된 것으로서 CZ법에 의해 성장된 단결정은 전세계적
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