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AlN 단결정 성장 및 응용분야에 관한 레포트를 작성하면서, AlN에 대한 정보를 많이 얻을 수 있었다.
Wafer로는 Si만 사용하는 줄 알았던 큰 착각도 고칠 수 있었으며 반도체공학 및 전자재료를 공부하고 연구하는 사람으로 결정을 왜 성장시키는
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AlN 등과 같은 초경 피막을 코팅함으로써 표면의 내마모, 내부식 성질을 개선할 수 있다. plasma를 이용한 증착법을 쓸 경우 부착력이 좋고, 증착 온도가 낮아질 수 있어서, 종래의 방법에서와 같이 증착시 기판의 고온 가열이 필요하여 이에 수
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성장시키려는 연구가 진행되고 있으며, 유용한 결정성장법으로의 그 위치를
차지하고 있다.
7. 참고 문헌
(1) Floating Zone 법에 의한 Rutile(TiO2) 단결정 육성/신재혁강승민오근호/한양대학교 무기재료공학과
(2) 부유대용융법에 의한 고품질 Rutile(
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성장학, 다성출판사 // 김정남 외 8인 공역
5. Introduction to Microelectronic Fabrication, PRENTICE HALL // R. Jaeger
6. EFG 법에 의한 Sapphire Ribbon 단결정 성장/박신서· 류두형· 정재우· 최종건(J.K. Choi) · 오근호(K.K. Orr) · 손선기(S.K. Sohn) · 변영재(Y.J. Byeon) ·
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1.단결정 성장 공정
단결정
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● 단결정 정의: 원자가 규칙적으로 배열하여 하나의 결정을 이룬 것
≪ 그 림 ≫ ≪ 그 림 ≫
단결정 다결정
● 사용이유
1. 전
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단결정 태양열 에너지
다) 다결정 실리콘 태양전지
라) 비 정질 실리콘 계 태양전지
마) 박막 형 태양전지
2) 화합물 반도체 태양전지
가) I-III-VI족(CIS)태양전지
나) II-VI족(CdTe) 태양전지
다) III-V족(GaAs, InP)태양전지
3) 유
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