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마이크로 프로세서(Microprocessor)와 그 주변 부품의 발전으로 인하여 이를 이용한 메카트로닉스 기술이 점점 발전하게 되었다. 특히 마이크로 프로세서 주변 부품의 발전은 예전의 메카트로닉스 시스템 제품을 보다 소형화하는 데 큰 견인차 역
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마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 선정된 단어는 없지만 초소형 정밀기계 기술개발이라 부르고 있다.
5) 생체 의료용 응용
금이나 반도
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mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고
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MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의되어 선정된 단어는 없지만 현재 선
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e는 100℃ 이다.
Ⅱ. MEMS
1. MEMS 의 정의
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로시스템, 마이크로머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의
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