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mems란 마이크로 시스템, 마이크로 머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의 되어 선정된 단어는 없지만 현재 선도 기술사업으로 진행되고
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Micro Machine, MEMS 같은 동의어
초소형 기계, 초소형 시스템
현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함
크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템
전기적 기계성질을 가지는 어떤 System
MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동
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MEMS 센서 기술, HelloT 첨단 뉴스 기사, 2004. 유비쿼터스컴퓨팅개론
- 2100년에는 지금의 IT 기술(Fintech, 블록체인 기반의 가상화폐, 인공지능 기반의 무인자동차, 인공지능 기반의 의료진료 시스템 등)이 일반적인 기술(지금의 스마트폰, 3D/4
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시스템의 필요성의 대두되고 있다.
3. MEMS 장단점
A. 장점
MEMS의 장점으로 몇 가지를 들 수 있다. 첫째로, MEMS공정은 반도체 제작 공정을 이용하므로 초소형(수 um ~수백 um크기)으로 제작할 수 있으며, 일괄 공정에 의한 대량생산이 가능하다. 이
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Ge는 100℃ 이다.
Ⅱ. MEMS
1. MEMS 의 정의
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로시스템, 마이크로머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의
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