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박막으로 패터닝되는 것이 포함된다. 다음으로 계속된 노출과 develop으로 포토레지스트는 웨이퍼의 점착성 증가와 차후의 에칭에서 저항의 증가를 위해 120℃~180℃에서 20~30분 동안 가열하게 된다. SiO2의 경우 완충된 산인 HF의 에칭은 밑에 놓
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박막을 현미경으로 관찰하기 위해 공기 중에 노출시켰고 이 과정에서 박막 위에 먼지나 이물질들이 묻어 식각 과정에 영향을 주었을 수도 있다. 넷 째, 두께 측정기에 박막을 넣을 때 1차와 2차 실험을 한 박막이 섞였을 가능성이 있다. 4개의
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접착력 ③ 기판과 고분자형 유기 EL층 사이의 접착력 1. 서론
2. 고분자 LED의 발광원리
3. 고분자 전기 발광 소재 개발 현황
4. 청색 전기발광 고분자의 개발 동향
5. 재료와 소자의 추가적인 성능개선
6. 패터닝 방식에 따른 재료의 개량
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패터닝 기술의 개발이 필요하다.k 그러나 습식공정으로 박막을 형성할 수 있는 장점은 고분자의 실용화에 큰 이점을 가져다주는 것으로, 고분자의 개발이 더욱 가속화 될 것으로 기대된다.
2. 성막 물질의 구조 및 특성
물질의 발광 특성은 자
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박막 증착법
외부로 부터 소자 구조를 연결시키기 위해서는 금속층의 증착과 패터닝이 요구되는데, 복잡한 IC는 전기적으로 고립된 3개 때로는 4개의 금속화된 층을 가지고 있다. 금속층의 성장시 유전층과 점착성이 좋아야 한다. 박막은 물
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