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식각 공정에서 O2 GAS 를 이용한 건식 세정 및 정전기 제어에 관한 연구, 2011년, Page 40 1. 오른쪽과 같은 pattern 모양을 형성하기 위해서 어떠한 공정을 진행해야 하는가를 그림과 이론으로 설명하시오.
2. 실험 가정 및 주의사항
3. 두께 및
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시간 이후로는 Etching이 더 이상 진행하지 않을것이라고 예상한다.
6. 참고문헌
반도체 공정실험 Dry Etching 수업자료 PDF
화학용어사전 - 화학용어사전 편찬회, 윤창주, 2011. 1. 15, 일진사
반도체 공정플라즈마의 현황과 전망 한국물리학회 , 장홍
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4. 회로설계
5. 마스크 제작
6. 산화 공정
7. 감광액 도포
8. 노광
9. 현상
10. 식각공정
11. 이온주입
12. 화학 기상 증착
13. 금속배선
14. 웨이퍼 자동선별
15. 웨이퍼 절단
16. 웨이퍼 표면 연마
17. 금속 연결
18. 성형
19. 최종검사
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대해 알고싶다.
반도체 발광 다이오드(LED)의 세부기술 특허동향에 대해 알고싶다.
반도체 레이저 다이오드(LD)의 세부기술 특허동향에 대해 알고싶다.
출처 : http://www.patentmap.or.kr/pm_inquiry/2001/2001-ee/2001-EE-06/EE06_chap_2/EE06_210.htm
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반도체 제조 기술
1. 워이퍼 세척
2. 웨이퍼 표면의 오염원과 오염원의 검출
3. 웨이퍼 세척 과정
4. 에칭
5. 습식 식각
6. 실리콘의 습식 식각
7. 열산화막의 습식 식각.
8. 질화 실리콘의 습식 식각
9. 건식 식각
10. 이온주입 (Ion Impla
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반도체 공정 기술 (Semiconductor Fabrication Technology) - 60문제 30
가. 웨이퍼 제조 및 클리닝 (Wafer Manufacturing & Cleaning) 30
나. 산화 및 확산 (Oxidation & Diffusion) 30
다. 박막 증착 (Thin Film Deposition) 31
라. 리소그래피 (Lithography) 31
마. 식각 (Etching) 32
바.
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반도체 공정(습식/식각)에서 가장 중요한 요소는 무엇이라고 생각하나요?
3) 예상치 못한 문제가 발생했을 때, 이를 해결하기 위해 어떻게 접근하나요?
4) 실험 데이터 분석 과정에서 어려움을 겪었던 경험이 있다면 설명해 주세요.
5) 공정
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반도체 공정기술 직무에서 어떻게 발휘될 수 있을까요?
공정 최적화 연구 경험과 실험 설계 및 데이터 분석 역량을 보유하고 있습니다. 특히, 식각 공정 최적화 연구를 수행하며, 공정 변수 조정 및 불량 분석 경험을 쌓았으며, 이를 바탕으로
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식각과 잔류물 제거를 동시에 충족할 수 있는 F-free 기반 시스템을 설계하고, ALD 공정과도 호환되는 조건을 찾아내는 데 도전해보고 싶습니다.
7. 향후 5년 후 본인의 비전은 무엇인가요?
반도체 공정에 특화된 케미칼 개발자로서, 연구소와 생
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반도체 생산성 향상을 위한 기여 방안
입사 후에는 회사의 공정과 설비를 빠르게 숙지하여, 제품의 수율을 안정적으로 향상시키는 기술 엔지니어로 성장하겠습니다. 초기에는 설비 가동률 향상 및 다운타임 최소화에 초점을 맞추어 TPM(총생
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