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편광의 차이가 측정되고, 산화막 두께가 계산된다.
d=0.1㎛ (1000'C, 2hr Si(100) dark violet)
표 1 ) 성장된 박막에 의해 관찰된 색
참고문헌
1 . 반도체(공정 및 측정) 편집부 엮음 (주)전자자료사, 1994년
2 . 반도체공정기술, 황호정, 생능출판사, 2000
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스퍼터링 장치의 구성
≪ 그 림 ≫
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진공챔버, 파워서플라이,펌프,가스제어부
모래시계: 밸브
핵심부분-챔버
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1. SPUTTERING 이란 무엇인가?
1. 1825년 Grove에 의해 발견
2. 목적물 표면에 막의 형태로 부착하는 기술 세라믹이나 반도체 소재 등에 전자 회로를 만들기 위해 고진공 상태에서 고체를 증발시켜 박막이나 후막을 형성하는 경우에 사용됨
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소프트 로이 코팅방법은 기 생산된 플로트 판유리를 진공 챔버 내 금속타겟이 설치된 별도의 가공 라인에서 Ag, Titanium, Stainless Steel 등의 금속을 이용하여 다층 박막 코팅시켜 생산된다.
소프트 로이 코팅의 장점은 투명도가 높고, 여러 가지
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