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실리콘 웨이퍼 표면에 얇고 균일한 실리콘 산화막을 형성 시키는 공정이다
▶산화공정은 습식산화와 건식산화가 있다.
≪ 그 림 ≫ 1. 반도체란?
2. 산화공정
▪ 습식산화, 건식산화
3. 사진공정
▪ 사진공정 과정
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반도체 소자의 집적
실리콘 웨이퍼로부터 시작하여 앞서 설명한 박막형성, 사진공정, 식각공정 및 dopant공정 등이 반복적으로 수행되면 최종적으로 원하는 구조를 가진 소자가 얻어진다. 공정이 완료된 웨이퍼는 검사 장비를 통해 제대로 공
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반도체산업 위축을 극복하고 있고, 경제산업성과 5개 업체가 차세대 반도체기술 표준화를 추진하고 있음. 광학기술의 발달로 사진공정 장비의 생산을 주도하고 있으며 모든 공정분야 반도체 장비기술이 우위를 점하고 있음.
3. 한국의 기술개
반도체 메모리, 기술 비메모리, 반도체산업 - 정의, 범위, 관련기업, 주요 생산품, 시장구조, 유망분야, 국내외 기술개발동향, 기술발전전,
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공정은 크게 TFT공정, Cell공정, Module공정 세 부분으로 나뉜다. 위의 그림은 첫 번째 공정인 TFT 공정을 나타내고 있으며 반도체 공정과 많은 유사함을 가지며 증착공정(deposition) 및 사진식각공정(photo lithography), 식각공정(etching)을 반복하여 유리
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사진 및 식각 공정에 들어가기 위해 mask 제작을 하였다. 반도체 공정은 마이크로 단위로 이루어지는 공정이므로 우리는 패턴의 선택에 있어서 micro - paterning을 표현할 수 있는 삼족오 문양을 선택하였다.
삼족오 문양은 미세패턴을 잘 표현해
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