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크기가 작아질수록 이러한 왜곡 현상은 점점 심해지게 된다. 노광공정 및 식각공정
❖ 전통적인 리소그래피
❖ 전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
❖ 식각의 의미
❖ 식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식각
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식각 공정에 들어가기 위해 mask 제작을 하였다. 반도체 공정은 마이크로 단위로 이루어지는 공정이므로 우리는 패턴의 선택에 있어서 micro - paterning을 표현할 수 있는 삼족오 문양을 선택하였다.
삼족오 문양은 미세패턴을 잘 표현해 줄 수는
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전통적인 리소그래피 : 광학 리소그래의 한 종류이며, 자외선을 광
원으로 이용하는 리소그래피 전통적인 리소그래피
전통적인 리소그래피 – 트랜지스터
식각의 의미
식각의 종류
- 습식 식각
- 건식 식각
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4. 회로설계
5. 마스크 제작
6. 산화 공정
7. 감광액 도포
8. 노광
9. 현상
10. 식각공정
11. 이온주입
12. 화학 기상 증착
13. 금속배선
14. 웨이퍼 자동선별
15. 웨이퍼 절단
16. 웨이퍼 표면 연마
17. 금속 연결
18. 성형
19. 최종검사
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시킬 수 있고, 더불어 반응성이온식각공정 중 발생하는 패턴의 선폭 변형을 줄일 수 있다.
도면
효과
포토리소그래피기술과 나노임프린트리소그래피 기술을 조합하여 리소그래피 공정을 진행하므로써 잔류층이 없는 미세 선폭의 포토레지스
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