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pump)
3) 오일 확산 펌프(Oil diffusion pump)
4) 터보 분자 펌프(turbo-molecular pump)
2. Entrapment 펌프
1) 이온 펌프(Ion pump)
2) Cryogenic pump
3) Getter pump
3. 그밖의 펌프
1) Stream ejecter 펌프
2) Water jet 펌프
Ⅲ. 진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지
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진공도의 단위
3. 절대 진공도와 게이지 상의 진공도
4. 진공펌프의 용량 단위
5. 진공도에 따른 진공 영역의 구분
6. 진공펌프의 종류
7. 진공 펌프의 원리
1) 로타리 베인 펌프
2) 로타리 피스톤 펌프
3) 로타리 기어
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측정하여 검출한다.
3. 실험장치
- 이번 실습에서는 브로돈관과 스트레인 게이지를 부착한 압력계를 사용하였다.
브로돈관 압력계와 압력센서가 설치된 블록의 왼쪽에 레귤레이터와 수동 밸브가 설치되어있다.
① 레귤레이터
펌프로부터 들
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진공기술실무, 성원에드워드, 진공기술연구소 ---------------------------------------------------------
Contents
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1. Title
2. Object
3. Theory
-진 공
-진 공 펌 프
-진공 게이지
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펌프가 중심이므로 운전유지 관리가 비교적 용이하다. 막모듈의 교환이 비교적 많다.
높은 온도에서 운전하므로 재료의 부식이 많다. 보일러, 펌프, 진공장치 등 유지관리를 필요로하는 장치가 많다.
상온, 상압에서 운전을 하므로 플라스틱
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