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Plasma Property Variation as a result of the Particulate Contamination I. 서론
II. 용량결합형 RF 여기 CH4 플라즈마를 이용한 DLC (Diamond-like-Carbon)막 증착 공정 중의 미립자 발생 및 행동양식.
III. 플라즈마-미립자간의 상호작용에 의한 RF 방전특성의
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플라즈마 발생 메커니즘
1) DC 방전 (DC Discharge)
(1) 파센 법칙(Pachen’s Law)
(2) DC 글로우 방전의 특성
2) 라디오 주파수 방전(Radio Frequency Discharges)
3) 마이크로파 플라즈마(Microwave plasmas)
5. 금속을 함유한 원료의 플라즈마 처리 공정
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Grobal Warming
Ⅴ. 이산화탄소와 대기오염
Ⅵ. 이산화탄소와 이산화염소
1. 이산화염소란
2. 이산화염소의 특징
Ⅶ. 이산화탄소와 이산화탄소제거
1. 플라즈마에 의한 대기오염물질의 처리기술
2. 건식제어기술 중의 흡착법
참고문헌
이산화탄소 광합성, 공기 온실효과, [이산화탄소, 공기, 광합성, 온실효과, 대기오염, 이산화염소]이산화탄소와 공기, 이산화탄소와 광합성,,
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오염 방지, 정확한 제어, 폐기물 처리용이, 컴퓨터 제어에 의한 안정성, 증기의 종류나 온도, 압력 변화의 다양성 및 in-situ 공정의 실현 등에서 유리하며, 최근 많이 채택되고 있는 기술이다.
참조
NECST @ KNU 반도체공정교육및지원센터
IHS Technolo
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연구가 수행 중임
돌연변이 미생물 고정화나 고정화층 발효기를 이용하여 당 발효 효율을 높이는 연구가 진행 중
Bioreactor의 배치나 운영 모드에 관한 연구도 진행 중
Infinol사는 고농도 당 주입에 따라 동적으로 작동되는 발효기 2004년 출원된
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