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PVD 개요
● PVD 란? 진공증착, 스퍼터링, 이온 플레이팅을 총칭하는 용어
≪ 그 림 ≫ 1. 서론
2. PVD법
2.1 PVD 란?
2.1 PVD 원리
2.3 PVD 개요
2.4 PVD 영상
2.5 PVD 장·단점
3. PVD 종류
3.1 PVD 종류
3.2 증발 (아크증발법)
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종류
1. 전기도금
2. 화학도금
3. 용융 도금
Ⅴ. 도금의 과정
Ⅵ. 전기도금
1. 장점
2. 단점
Ⅶ. 화학도금
1. 장점
2. 단점
Ⅷ. 건식도금
1. CVD(화학적 기상도금)
1) CVD의 원리
2) CVD의 특징
3) CVD장치
2. PVD(물리적 기상도금)
1) 진공
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공학과 홈페이지
-<박막 프로세스의 기초> ,김원찬 저 ,피어슨에듀코리아, 2000년 1.박막공정
1.1. 박막공정의 정의
1.2. 박막공정의 과정
2. 세척
3. 증착
3.1. 증착의 정의
3.2. 증착의 종류
3.3. 증착의 요구 조건
4. PVD
4.1. PV
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공학\', 복두출판사, 1995
[6] 이종덕, \'실리콘집적회로 공정기술\', 대영사, 1997
[7] 신현국, \'CVD/ALD 재료 기술 동향\', (주)유피 케미컬, 2005
[8] 김상훈, ‘Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition’, 전북대학교, 2008
참 고 사 이 트
[9] http://blog.naver.com/ycin630
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이용 기술
태양 전지의 역사
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태양 전지의 원리
태양 전지의 종류
태양 전지의 핵심 기술
태양 전지의 이용 분야
전세계 및 우리나라 동향/현황
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