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수 : 3*1014분자/cm3
일반적으로 공업적으로 사용하는 플라즈마
- 만개/백만개의 분자나 원자중에 한 개가 이온화 된 플라즈마란 무엇인가?
플라즈마의 생성
플라즈마의 특성
Chamber안에서의 DC플라즈마
Chamber안에서의 RF플라즈마
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생성된 후에 남아있는 포토레지스트를 제거하는데 이는 'ashing'이라는 공정을 통해 이루어진다
소자층에 흠을 내지 않고 포토레지스트를 제거하는데 고온의 플라즈마가 사용된다. 이는 산소플라즈마 체계에서의 레지스트를 산화(태우는)시킴
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플라즈마 [Plasma] (시사상식사전, 2013)
플라즈마를 만들려면 흔히 직류, 초고주파, 전자빔 등 전기적 방법을 가해 플라스마를 생성한 다음 자기장 등을 사용해 이런 상태를 유지 하도록 해야한다.
[네이버 지식백과] 플라즈마 [Plasma] (시사상식
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생성된 후에 남아있는 포토레지스트를 제거하는데 이는 'ashing'이라는 공정을 통해 이루어진다.
소자층에 흠을 내지 않고 포토레지스트를 제거하는데 고온의 플라즈마가 사용된다. 이는 산소플라즈마 체계에서의 레지스트를 산화(태우는)시
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Plating 의 장점
◎ Ion Plating 의 원리
※ DC-diode 아르곤 방전
※ 아르곤 방전에서 음극에서의 충돌
※ 실제 ion plating 방전
◎ ION-PLATING 장비 및 공정
※ 장비
※ 공정
◎ 개발 방향
※ 상업적인 PAPVD 계
※ Coating에서의 변수
◎ reference
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플라즈마’, 인터비젼.
[6] 植月唯夫 외 2인 공저 ‘고전압 공학’, 코로나사, 2006. 제 1 장 서 론
제 2 장 본 론
2.1 정전기 현상
2.1.1 정전기 발생 원리
2.1.2 대전 현상
2.1.2.1 접촉 대전
2.1.2.2 유도성 대
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원리를 비행기, 기차와 비교해서 말하시오.
대학 진학 후 자신의 수학 계획을 말하시오.
학과 공부를 하는 데 필요한 다른 교과목을 말하시오.
8. 원자핵공학과
플라즈마 상태에 대해 설명하고 핵융합의 과정을 말하시오.
산성비의 생성 요
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원리를 아나요?
6. 열역학 0법칙이란 무엇인가요?
7. 변압기에 대해 아는 대로 말해 보세요.
8. 축전지가 무엇인지 알고 있나요?
9. 소자란 무엇인가요?
10. 2차전지가 무엇인지 아나요?
11. 플라즈마가 무엇입니까?
12. 빅데이터란 무엇인
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