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Si wafer 제조공정
(1)단결정 태양전지 Si wafer 제조공정
단결정 성장을 위한 원료준비 원료를 완전히 녹이는 과정 용융물에 종자를접촉
단결정에 결함이 발생하지 않도록 성장시키는 작업을하고 인상속도를 줄여서 서서히 끌어 올리는 과정을
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Wafer, 태양전지
MEMC Korea㈜
200,950
216,169
855
반도체 웨이퍼 범핑 반도체용 현상액
㈜네패스
59,184
90,082
244
Graphite Carbon, Si Wafer
㈜아이테스트
16,685
38,240
129
Silicon Wafer
네오세미테크㈜
11,264
24,334
65
Wafer 재활용
에피밸리㈜
9,235
15,673
79
메모리, LCD, Wafe
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Wafer cleaning
1. Types and sources of contamination
2. Wet cleaning
1) RCA cleaning
2) Piranha 세정
3) DHF cleaning (Dilute HF cleaning)
4) Ozone cleaning
5) IMEC cleaning
6) Ohmi cleaning
3. Dry cleaning
1) CO2 세정
2) Plasma 세정(, NF3/H2 plasma, H2 plasma, H2/Ar plasma 세
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찰 및 향후 연구 방향:본 실험 결과는 실리콘 웨이퍼의 정밀 가공에 KOH 에칭이 매우 유효한 방법임을 보여준다. 그러나 에칭 과정에서 발생할 수 있는 표면 거칠기의 증가는 특정 응용 분야에서의 사용에 제한을 줄 수 있으므로, 이를 최소화
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Si 산화막 자체는 투명하고 wafer에서는 색을 가진다. 색의 요인으로는 막의 특성인 굴절률과 측정하는 각도, 막의 두께이다. 색의 각 order를 통해서 두께를 결정하게 된다. 간단한 경우로 빛이 수직으로 입사하는 경우, 극대와 극소 간섭은 막의
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