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Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분석(Dep
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A E S
Auger Electron Spectroscopy
AES 란?
╋━━━━━━━━━━─────────…
■ Auger Electron Spectroscopy
■ Auger 전자 분광분석
■ Auger 전자 현미경
■ 시편에 가속전자를 쪼아 발생하는 Auger 전자의 에너지 분석
→ 시
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사용하는 것도 포함하게 되었다. 파장이나 주파수의 함수로 주어지는 반응 값을 도표로 나타낸 것을 스펙트럼이라 부른다. 1. Title : UV-Vis Spectroscopy
2. Purpose
3. Theory
4. Reagent and equipment
5. Experimental method
6. Result
7. Discussion
8. Reference
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spectroscopy)
(1) AAS원리
(2) AAS의 구성
(3) 감도 및 검출 한계
1. 감도
2. 검출한계
(4) 적용범위
(5) 분석방법
2. XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) ESCA 장치의 주요 구조
(3) 광전자 스펙트럼 (Photoelectron spectrum)
(4) 화학적 이동 (Che
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spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) FTIR의 특성
(3) FTIR의 구성
(4) FTIR에서의 Sampling 기법
5. AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
(3) AES분석의 종류
(4) 충전효과(charging effect)
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점
6.
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