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Microscope)
● 전자현미경 (EM, Electron Microscope)
● 원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)
● STM과 AFM
● AFM을 이용한 고분자 연구
● 차원 및 배율
● 압전 세라믹 트랜스듀서
● 힘 센서(Force Sensors)
● 피드백 제어
● AFM의 원리
● Cont
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시료의 구조분석 에 매우 효율적으로 사용될 수 있다.
<그림14. AFM 측정 모드별 장단점②> AFM(Atomic Force Microscope)
1. AFM이란?
2. Contact AFM
3. Non-contact AFM
4. Intermittent-contact AFM
5. Tapping AFM
6. AFM 측정 모드별 장단점 비교
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microscope)
(2) 전자현미경 (EM,Electron Microscope)
ㄱ. 주사형 전자 현미경 (SEM, scanning electron microscope)
ㄴ. 투과형 전자현미경 (TEM, transmission electron microscope)
(3) 원자현미경 (AFM,Atomic Force Microscope)
3. Material & Method
4. Result
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force gradient로 표면형상을 얻을 수 있다.
캔틸레버의 spring constant 가 k0 일 경우를 생각하자. 탐침이 시료표면 가까이 접근 했을 때 탐침에 반 데르 발스의 인력이 작용하기 때문에 캔틸레버의 spring constant는 원래의 값(k0)에서 새로운 spring constant
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발생시키며, 그런 후 센서로 받아들여 검경할 수 있도록 한다. 전체 표본이 scanning된 뒤에 상이 완성된다.
3. 원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)
원자현미경은 표본의 표면을 캔틸레버라고 불리는 작은 막대가 주사를 하면, 이 때 캔틸레버 끝
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Microscope)
3. AFM(Atomic Force Microscope)
3-1. Contact AFM
3-2. Non-contact AFM
3-3. Intermittent-contact AFM
4. LFM(Lateral Force Microscope)
5. FMM(Force Modulation Microscope)
6. PDM(Phase Detection Microscope)
7. MFM(Magnetic Force Microscope)
8. EFM(Electrosta
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미세구조 관찰의 필요성 대두…
광학현미경 전자현미경 원자현미경
스위스 쮜리히소재의 IBM 연구원이었던 Binning, Roher, Gerber와 Weibel에 의해 1982년에 개발
정의: STM (Scanning Tunneling Microscope)과 AFM (Atomic Force Microscope)을
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microscope)
• FESEM (field emission scanning electron microscope)
• TEM (transmission electron microscope)
• HRTEM (high resolution transmission electron microscope)
Scanning probe microscope(SPM)
• STM(scanning tunneling microscope)
• AFM(atomic force microscope)
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Force Microscope)
요약
일반적으로 원자력 현미경(AFM)은 수백 마이크로미터 이하의 범위를 측정할 때 사용해 왔다. 그러나 더 큰 범위의 측정을 위해 200mm X 200mm의 AFM을 설계, 제작하였다. 전체 스테이지 시스템은 표면판, 글로벌 스테이지, 마이크
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Force Microscope). 그후 시료탐침간의 다양한 상호작용 (마찰력, 전위, 근접장광, 자기력등)을 검출하여 표면구조를 관찰하는 FFM, SMM, SNOAM, MFM...등이 개발되었다.
이들을 총칭하여 주사형 Probe현미경 (SPM)이라고 한다.
AFM은 그중에서 가장 널리 보
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