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시료의 구조분석 에 매우 효율적으로 사용될 수 있다.
<그림14. AFM 측정 모드별 장단점②> AFM(Atomic Force Microscope)
1. AFM이란?
2. Contact AFM
3. Non-contact AFM
4. Intermittent-contact AFM
5. Tapping AFM
6. AFM 측정 모드별 장단점 비교
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AFM
Intermittent-contact AFM은 NC-AFM과 비슷하지만 IC-AFM의 경우 진동하는 캔틸레버의 탐침이 시료 표면에 거의 닿을 수 있도록 시료에 접근한다. <그림7>의 원자간력과 거리와 의 관계도 에서 IC-AFM이 작용하는 van der Waals 힘의 영역을 보여준다.
I
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What is the AFM
IBM의 쥬리히 연구소의 Gerd Binnig이 1985년에 AFM을 개발.
최초의 AFM은 금으로 된 호일을 싼 다이아몬드제질의 탐침의 배면에 STM의 탐침을 위치시키고, 그 터널 전류에 의해 탐침의 변위를 측정할 수 있는 매우 고가의 복잡한 제품이
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AFM)
Purpose
형성된 박막(, , )에 대하여 AFM 비접촉모드을 통하여
roughness 확인 및 비교
Experiment
- 원자간력현미경 (AFM, Atomic Force Microscope) ; 표면 거칠기(RMS, Rq) 측정
- , : 증착 / : 오존처리 후 스핀코팅으로 진행
Result
&
Discussion
- AFM (Atomic Force Microsco
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contrast microscope)
-간섭현미경(interference microscope)
-암시야현미경(dark-field microscope)
-편광현미경(polarizing microscope
-형광현미경(fluorescece microscope)
2. 전자현미경(EM, Electron Microscope)
3. 원자현미경(AFM, Atomic Force Microscope)
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