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Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분
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A E S
Auger Electron Spectroscopy
AES 란?
╋━━━━━━━━━━─────────…
■ Auger Electron Spectroscopy
■ Auger 전자 분광분석
■ Auger 전자 현미경
■ 시편에 가속전자를 쪼아 발생하는 Auger 전자의 에너지 분석
→ 시
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spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) FTIR의 특성
(3) FTIR의 구성
(4) FTIR에서의 Sampling 기법
5. AES(Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
(3) AES분석의 종류
(4) 충전효과(charging effect)
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점
6.
조성측정방법 TGA, XRD DTA, 재료의 조성 측정방법(XRD, TGA, DTA, FTIR, AES, EDS, XRF, ICP-MS, AAS, XPS),
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Auger Electron Spectroscopy)
수백 Å 크기의 Electron beam을 재료의 표면에 입사 방출되는 Auger electron의 에너지를 측정하여 재료표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면분석 장비이다.
4. AFM ( Atomic Force Microscope)
요약
일반적으로
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Auger electron spectroscopy에서는 하전 현상 때문에 많은 제안을 받고 있어 절연물질의 분석에서는 XPS가 더욱 유용하다.
6) 유기화합물의 분석
유기화합물의 XPS 스펙트럼을 IR, NMR과 같이 보완하면서 해석하면 많은 정보를 얻을 수 있다. 유기물의
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