|
Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분
|
|
|
A E S
Auger Electron Spectroscopy
AES 란?
╋━━━━━━━━━━─────────…
■ Auger Electron Spectroscopy
■ Auger 전자 분광분석
■ Auger 전자 현미경
■ 시편에 가속전자를 쪼아 발생하는 Auger 전자의 에너지 분석
→ 시
|
|
|
electron with the emission of characteristic -ray or Auger electrons.
(내부 변환에 의한 창생되어진 궤도의 정공은 그 후에 특성 X-ray나 Auger 전자를 방출하면서 보다 밖같쪽 전자에 의해 채워진다.)
※ Auger electrons are emitted by the daughter product when the resulting orbit
|
|
|
Auger Electron Spectroscopy)
수백 Å 크기의 Electron beam을 재료의 표면에 입사 방출되는 Auger electron의 에너지를 측정하여 재료표면을 구성하고 있는 원소의 종류 및 양을 분석해내는 표면분석 장비이다.
4. AFM ( Atomic Force Microscope)
요약
일반적으로
|
|
|
Auger Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
(3) AES분석의 종류
(4) 충전효과(charging effect)
(5) 주요 적용 범위
(6) 시료 준비
(7) 장점과 단점
6. EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)
(1) EDS 개요
(2) EDS를 이용한 정성분석
(3) EDS를 이용한
|
|
메뉴펼치기
