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beam Welding), 초음파 용접(USW: Ultrasonic Welding), 브레이징(Brazing), 마찰용접(FRW: Friction Welding), 스폿용접(=점 용접), 프로젝션 용접(PW: Projection Welding), 심용접(RSEW: Resistance Seam Welding), 업셋 용접(Upset Welding), 폭발용접(explosive welding) 용접이란
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전자빔 가공 개요 및 적용사례 (Electron-Beam Processing)
1. 전자빔 가공의 개념
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❖ 전자빔은 전자총에서 방출되는 전자빔을 물체에 쬐어서 금속 ·보석류 그 밖의 재료를 가공하는 가공법
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Electron-beam Evaporator
- 각종 금속 (Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 다양한 유전체박막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비로 고융점에서 증착이 가능하고 증착속도가 바른 장점이 있다. E-beam Evaporator의 원리는 E-beam Source인 hot filament에 전류를 공급하여 나오는
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lator와 Correction Tool 개발, (3)실리콘기판 위에서 0.15mm Critical Dimension의 pattern 형성에 대한 연구를 수행하였다
3. EUV (Extreme Ultraviolet) lithography
X-ray, ion-beam projection, electron-beam projection lithography와 더불어 차세대 노광 기술의 하나로 EUV lithography (X선
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Electron-beam Lithography)로 명명된 이 전자빔 리소그래피 기술은 고분해능 투과전자현미경을 이용하여 옹스트롬 (Å: 1Å = 10-10 m) 크기의 원자 이미지를 수십배에서 수백배의 영역에서 확대한 이미지를 얻고, 이를 이용하여 수 나노미터(nm: 1 nm = 1
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