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FIB 장치(Focused Ion Beam System)
1. 집속 이온빔 장치의 구조
2. 각 부분별 작동원리
3. 집속 이온빔 장치의 응용
SEM(Scanning Electron Microscope)
1. 주사전자현미경(SEM)이란?
2. SEM의 작동 원리
3. SEM의 구성
MgO 보호막
1. MgO 보호막의 조건
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FIB(Focus Ion Beam)의 개요 -------------------------- 3
- 광원 (빛의 발생원) --------------------------------- 4
- 광학계(光學系) ------------------------------------- 5
- Focus Ion Beam의 조사(照射) --------------------- 6
SEM(Secondary Electron Microscope)의 개요-------- 7
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~350 ℃에서 마이크로구조를 형성하기 위해 담금질되어졌고 Focus ion beam (FIB SEM) 와 transmission electron microscopy (TEM)는 필름의 특징적인 결정크기를 만들어내기 위해 사용 되어졌다. 응력-변형률 곡선, 영률, 인장강도와 같은 기계적 움직임에 의존
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첫째 저는 반도체 및LED 공정에 대한 이해도가 높습니다.
② Cleaning/Dry Etching 단위 공정 Engineer로써 단위 공정 Set up
및 공정불량 개선(SEM/FIB이용) , CI , 신규공법 적용 및 Max. Capa.활동
둘째 저는 반도체/LED 신규 장비에 대한 공정 Set up 경험
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