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융액(melt)의 점도가 낮아 결정을 끌어 올릴 수 없을 때 사용
GaAs, II-VI 족 단결정(ZnSe, CdS, CdTe) 성장에 쓰임
단결정 성장 방법 중 가장 단순, 저렴
결정화 하는 재료에 따라 수평, 수직 브리지만 법으로 나눔 1.Bridgman Method
2.Floating Zone
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Floating Zone 법에 의한 Rutile(TiO2) 단결정 육성/신재혁강승민오근호/한양대학교 무기재료공학과
(2) 부유대용융법에 의한 고품질 Rutile(TiO2) 단결정 성장에 관한 연구/박종관/한양대학교 대학원/2002.02
(3) Floating Zone 법에 의한 LiNbO3 단결정의 성장과
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반도체 산업 및 반도체 재료 산업의 실태와 전망, 데이콤 산업연구소,1998,pp.117 실리콘 단결정(single crystal)
- 초크랄스키법(CZ법)
- 플롯존법(Float Zone Method, FZ)
* 그 외의 결정 성장법
반도체 제조 기술
1. 워이퍼 세척
2. 웨이퍼 표면
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반도체 공정기술(개정판), 황호정 저, 생능출판사
신소재공학, 서영섭·백승호·이철영 공저, 기전연구사
태양광 시장의 실태와 전망, 데이코산업연구소, 진한M&B
http://www.green-energy.co.kr/
http://www.samsungsdi.co.kr/
http://www.epnc.co.kr/article/view.asp?ar
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한쪽측면에만 Lead가 Zigzag형태로 있어 Device를 옆면으로 세워 사용할 수 있으므로 공간 절약의 잇점이 있다.
Zone AHU(Zone Air Handling Unit)
지역공조기라 칭하며 FAB에서 Return된 공기를 외기와 혼합시켜 처리하여 FAB의 환경 Air를 순환시킨다.
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