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LPCVD 장비 사용방법
(1)Chamber를 내림(Chamber안을 Cleaning한 후 Chamber를 내림)
(2)Process STB(Process Stand by)
(3)Process
(4)Boat Out
(5)System Stb
3. Photo Lithography
(1) Spin Coater 사용법
(2) Photo Resist(PR 용액 접합)
(3) Mask Aligner 사용방법
(4) PR Develop
4.RIE
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spin-coater, Photo resist, Vacuum chamber, Cr (크롬:BM), RGB 색안료
Ⅲ. Color filter의 Introduction -TFT-LCD의 color화면은 백색광인 backlight가 액정 cell 위에 1:1로 배치된 RED, GREEN, BlUE의 color filter(CF) 층을 투과해 나오는 빛의 가법 혼색을 통하여 만들어진다. CF 기
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Spin Coting법
3. 실험장치 및 방법
4.실험결과
1) 졸-겔법을 설명하고 반응과정에 대하여 서술하시오.
2) 액상법을 이용한 코팅박막제조기술에 대해 조사한다.
3) Spin coating법에 의해 코팅되는 발광재료에 대해 조사한다.
5.토의
6.결론
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spin coater 위에 올려놓고 vaccum 을 잡아준 다음 준비된 PEDOT:PSS solutions 을 micro pipette 을 이용하여 0.2ml을 ITO glass위에 뿌려주고 5000rpm 으로 40초 동안 spin coating 을 한다. coating 된 ITO glass 를 155℃ hotplate 위에 올려 놓고 20분 동안 건조한다.
다시 건조
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Spin coater, UV exposure, Tester coil, Heat palter, Glass
2) Reagents : DEVELOPER-AZ400K, PDMS(Polydimethylsiloxane), PR-AZ1512
4. Procedure
1) Cleaning Process
First, you immerse the glass in DeIonized Water(minimum 10minute). And then, you clean the glass in order of Acetone, IPA and DeIonized Wat
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