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ongdong.andong.ac.kr/down/em/2008-1/8.ppt
http://user.dankook.ac.kr/~enerdine/sem.htm
구글 이미지 (1) Gun+filament
1)열전자 방사형 전자총
2)전계 방사형 전자총 (FE E.Gun)
(2) Lens
(3) Detector
(4) 전자가 sample과 충돌하였을 때 일어나는 현상(X-ray, Auger E etc)
Referece
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전자총의 구조
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전자총의 외부 사진
≪ 사 진 ≫
텅스텐 필라멘트의 사진
≪ 사 진 ≫
Hair Pin 형태의 열방사형 전자총의 모식도
≪ 그 림 ≫ 1. SEM 이란
2. SEM의 구조
3. SEM의 원리
4. SEM
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SEM
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◎ 선원의 종류에 다른 SEM의 분류
≪ 그 림 ≫
1) 열방사형 전자총(Thermionic emission)
가장 많이 사용하는 필라멘트로 텅스텐선을 V자로 구부린 3극 Hair pin type을
사용한다. W 필라멘
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SEM의 원리
● 주사전자현미경(SEM)
● 주사전자현미경(SEM)의 구성
● SEM의 분해능(resolution)
● SEM의 영상의 종류
● SEM의 배율과 초점심도
● 전자빔과 시편과의 상호작용
● 투과전자현미경(Transmision Electron Microscopy)
● 광학현미
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전자총의 종류에 따라 열 방사형은 약 5nm정도, 전계방사형의 경우는 약 1~2nm 정도에 달한다. 한편, SEM은 고배율뿐만 아니라 10~100배정도의 저 배율 관찰에도 사용할 수 있다. 고 배율에서는 가시영역이 좁지만 저 배율에서는 그 영역이 넓어져
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